掌握微機電
產品編號：9786269729135
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作者：楊龍杰
版次：第2版
ISBN：9786269729135
出版社：滄海
出版日期：2023-09-01
頁數：419
商品介紹：
本書序言
本書為2007年「掌握微機電」之再版。2007年以來，雖然微機電技術多集中於商品化與元件性能優化，不如人工智慧與能源永續等新興領域課題之炙手可熱，但微機電技術對於理工學生，仍應為必備常識。因應筆者在淡江大學工學院開設多年的「微機電系統概論」課程，修課人數仍年年爆滿，故訂正「掌握微機電」初版之部分錯誤，再更新2007～2022年間之微機電新知於第十四章，並特別強調CMOS MEMS代工與現地多重感測器監控之微機電特色，於未來之技術發展。出書倥傯，謬誤難免，敬盼各界賢達專家指正。
本書特色
1.本書訂正「掌握微機電」初版前十三章內容之錯誤，更新2007-2022年間之微機電新知於第十四章，並特別強調CMOS MEMS代工，與現地多重感測器監控之微機電特色。
2.基於科普推廣之緣由，各章安排之範例，重在介紹國內外微機電學者之研究貢獻，並陳明微小科技背後之物理觀念。內容中偶然出現之數學處理手法，係提供大四生與研究生進階學習之用。
3.本書另備各章投影片、教學影片與教師手冊，作為教學與自修之參考。
[目錄]
Chapter1 微機電科技簡介
Chapter2 半導體製程與設備
Chapter3 矽質微細加工
Chapter4 金氧半微機電技術
Chapter5 高深寬比微加工技術
Chapter6 高分子微機電技術
Chapter7 微感測器技術
Chapter8 微制動器技術
Chapter9 光學微機電系統技術
Chapter10 生醫微機電技術
Chapter11 微流體元件技術
Chapter12 微型飛行器
Chapter13 微機電之封裝與測試技術
Chapter14 微機電系統技術的補充與展望
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